Родионов, Ю. А. Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рубрика: Новые поступления, Электротехника. Электроника ISBN/ISSN: 9785507469567 Смотреть в эл.каталоге621.3 Р60
Родионов, Ю. А. Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем : учебное пособие / Ю. А. Родионов. – Изд. 3-е, стер. – Санкт-Петербург ; Москва ; Краснодар : Лань, 2023. – 218 с.: ил., табл., схемы, граф. – (Высшее образование).
ISBN 9785507469567
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектро-механических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.
PDF-документ на email
С помощью службы электронной доставки документов вы можете сделать заказ на электронную копию фрагмента из этой книги до 25 страниц. Бесплатно сервисом могут воспользоваться сотрудники и обучающиеся БНТУ. Сторонние пользователи оплачивают сканирование документа без распознавания и отправку файла на email. Форма заказа и стоимость услуги >.