Комаров, Ф. Ф. Ионная и фотонная обработка материалов
Рубрика: Инженерное дело, Новые поступления ISBN/ISSN: 9789850633958 Смотреть в эл.каталоге621.7 К63
Комаров, Ф. Ф. Ионная и фотонная обработка материалов : учебное пособие для студентов учреждений высшего образования по специальностям «Физическая электроника», «Радиофизика» / Ф. Ф. Комаров, С. В. Константинов. – Минск : Вышэйшая школа, 2022. – 245, [1] с.: ил., табл.
ISBN 9789850633958
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники.
PDF-документ на email
С помощью службы электронной доставки документов вы можете сделать заказ на электронную копию фрагмента из этой книги до 25 страниц. Бесплатно сервисом могут воспользоваться сотрудники и обучающиеся БНТУ. Сторонние пользователи оплачивают сканирование документа без распознавания и отправку файла на email. Форма заказа и стоимость услуги >.