621.3 К18

Камлюк, В. С. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие для учащихся учреждений образования, реализующих образовательные программы среднего специального образования по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника» / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. – Минск : РИПО, 2022. – 266 с.: ил., табл., схемы. – (Профессиональное образование).

ISBN 9789858950323

В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники.

Содержание

 

PDF-документ на email

С помощью службы электронной доставки документов вы можете сделать заказ на электронную копию фрагмента из этой книги до 25 страниц. Бесплатно сервисом могут воспользоваться сотрудники и обучающиеся БНТУ. Сторонние пользователи оплачивают сканирование документа без распознавания и отправку файла на email. Форма заказа и стоимость услуги >.