621.3 Б43

Белоус, А. И. МЭМС: конструкции, технологии, приложения / А. И. Белоус, С. А. Чижик. – Москва : Техносфера, 2024. – 618 с.: ил., цв. ил., схемы, табл. – (Мир электроники; VII-81).

ISBN 9785948366883

В книге представлены систематизированные результаты детального анализа современного состояния и перспектив развития одного из наиболее стремительно развивающихся на стыке микромеханики и микроэлектроники научно-технических направлений — микроэлектромехани-ческих систем (МЭМС). Книга ориентирована на достаточно широкую аудиторию — от студентов, аспирантов и преподавателей технических вузов, специализирующихся в области микроэлектроники, до инженеров — разработчиков микросхем и электронных систем на их основе, инженеров -технологов серийных производств, сотрудников отраслевых исследовательских лабораторий и академических институтов, специалистов радиоэлектронной, автомобильной и космической техники.

В восемнадцати тематических главах последовательно на конкретных примерах рассмотрены все основные этапы создания МЭМС, начиная от анализа типовых конструкций классических датчиков и гироскопов, особенностей реализации этих конструкций в виде МЭМС-устройств, основных технологических процессов изготовления МЭМС, методов и технологий корпусирования МЭМС-устройств, инструментов моделирования и проектирования и заканчивая стандартами, видами и методами испытаний МЭМС-устройств.

Подробно в объеме отдельных глав рассмотрены особенности технологии и конструкции оптических МЭМС (ОМЭМС), наноэлектромеханических систем (НЭМС), а также основные сферы применения МЭМС — автомобилестроение (противоугонные и навигационные системы, системы безопасности, датчики давления в шинах, датчики электронных систем управления двигателей, обеспечение курсовой устойчивости, управления тормозами и т.д.), биомедицинские приложения МЭМС (био-МЭМС, применения в хирургии, офтальмологии, имплантируемые датчики, для обработки внутрисердечных сигналов, для систем электроэнцефалограмм, в томографии, микрофлюидные кристаллы и др.), а также СВЧ-приложения. Завершает книгу глава, посвященная бесплатформенным инерциальным навигационным системам ориентации и навигации на основе МЭМС-датчиков (принципы построения, методы калибровки инерциальных чувствительных элементов, информационно-управляющие системы вращающихся по крену летательных аппаратов).

Содержание

PDF-документ на email

С помощью службы электронной доставки документов вы можете сделать заказ на электронную копию фрагмента из этой книги до 25 страниц. Бесплатно сервисом могут воспользоваться сотрудники и обучающиеся БНТУ. Сторонние пользователи оплачивают сканирование документа без распознавания и отправку файла на email. Форма заказа и стоимость услуги >.