Родионов, Ю. А. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Рубрика: Новые поступления, Электротехника. Электроника ISBN/ISSN: 9785972903375 Смотреть в эл.каталоге
Описание:
621.3 Р60
Родионов, Ю. А. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике : учебное пособие / Ю. А. Родионов. – Москва ; Вологда : Инфра-Инженерия, 2019. – 350 с.: ил., цв. ил., схемы.
ISBN 9785972903375
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.