621.3 А46

Александров, С. Е. Технология полупроводниковых материалов : учебное пособие / С. Е. Александров, Ф. Ф. Греков. – Издание 2-е, испр. – Санкт-Петербург ; Москва ; Краснодар : Лань, 2022. – 230 с.: ил., табл., схемы, граф. – (Учебники для вузов. Специальная литература).

ISBN 9785811412907

Представлена технология и техника производства полупроводниковых материалов, имеющих широкое применение в электронной промышленности. Рассмотрены основные физические и химические свойства элементарных полупроводников и компонентов бинарных соединений, необходимые для обоснования рациональных приемов их глубокой очистки, синтеза и получения в виде массивных монокристаллов.

Приведены традиционные и новейшие технологические схемы и технические решения, даны краткие описания оборудования, позволяющие формировать оптимальные схемы производства с учетом требований к качеству продукции.

Содержание